エッジプロファイルモニタ （コベルコ科研）
ウェーハエッジ部の面取り幅・厚さ・角度や、ウェーハ直径、オリフラ長さノッチ形状を自動測定。
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ウェーハソーター （コベルコ科研）
厚さ、抵抗率、ボウ/ワープ等の測定値およびホスト情報などを使用しウェーハを分類。
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